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產(chǎn)品類別:MOCVD設(shè)備尾氣濾芯
產(chǎn)品說明:E-300 機型的濾芯由于MOCVD系統(tǒng)中所采用的大多數(shù)源均易燃易爆,雨其中的 化物源又有劇毒,因此,必須對反應(yīng)過后的尾
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PRODUCT INTRODUCTION
E-300 機型的濾芯
由于MOCVD系統(tǒng)中所采用的大多數(shù)源均易燃易爆,雨其中的 化物源又有劇毒,因此,必須對反應(yīng)過后的尾氣進行處理。通常采用的處理方式是將尾氣先通過微粒過濾器去除其中的微粒
Veeco K465i外延設(shè)備濾芯_MOCVD設(shè)備過濾器_高溫粉塵濾芯_玻纖濾芯 擁有國內(nèi)外 的生產(chǎn)設(shè)備、工藝裝備和高精度的檢測手段 ,嚴格可靠的質(zhì)量體系。產(chǎn)品具有過濾精度高、起始壓差小、流通能力大、納污容量大以及使用壽命長的特點。主要性能指標(biāo)達到國際 水準(zhǔn),可直接替代同類進口產(chǎn)品。
凱洛特可生產(chǎn)替代Veeco以及AIXTRON公司MOCVD設(shè)備K-465,K465i,E-300 機型的濾芯。 可根據(jù)客戶要求設(shè)計,訂做。(調(diào)整:尺寸,使用材料,整體構(gòu)造等)為客戶產(chǎn)品打造合適的濾芯,確保各種過濾要求,達到 過濾效果。
Veeco K465 K465i E300外延設(shè)備濾芯
產(chǎn)品說明:
該產(chǎn)品系我司針對Veeco K465i設(shè)備設(shè)計生產(chǎn)的濾芯,安裝于真空泵前,用于濾除混合氣體中的粉塵和顆粒;
2只/組(粗濾、細濾)
組成材料:
1、濾材: 耐高溫玻纖濾料
2、支撐材料:雙面304#不銹鋼金屬網(wǎng)
3、骨架:304#不銹鋼菱形網(wǎng)
4、密封墊圈:硅發(fā)泡橡膠墊片
5、密封膠:硅橡膠
規(guī)格:
1、端蓋:φ360、304#不銹鋼
2、耐高溫密封墊:φ340*φ265*T5
3、折數(shù):一級(100μm):118折, 折高65mm;二級(25μm):88折,折高65mm
過濾效率:
1、粗濾:100μm=90%
2、細濾:25μm=99.95%
3、透氣量:1000L/Sec/㎡
產(chǎn)品特性:
1、采用兩級過濾工藝,分級過濾雜質(zhì)、有效去除不同大小的顆粒雜質(zhì)。
2、波紋工藝,有效過濾面積增加,容污能力強,使用周期長。
3、濾料采用玻纖濾料,具耐高溫、耐腐蝕,長期使用溫度可達250度以上。
4、專用的高精度過濾材料,空隙均勻,過濾精度高,有效保護設(shè)備。

PRODUCT ADVANTAGES
專業(yè)的研發(fā)技術(shù)人員
研究產(chǎn)品種類多種多樣
產(chǎn)品可長時間抵抗壓力
擁有完善的售后服務(wù)體系
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