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E-300 機型的濾芯

由于MOCVD系統(tǒng)中所采用的大多數(shù)源均易燃易爆，雨其中的 化物源又有劇毒，因此，必須對反應(yīng)過后的尾氣進行處理。通常采用的處理方式是將尾氣先通過微粒過濾器去除其中的微粒

Veeco K465i外延設(shè)備濾芯_MOCVD設(shè)備過濾器_高溫粉塵濾芯_玻纖濾芯  擁有國內(nèi)外 的生產(chǎn)設(shè)備、工藝裝備和高精度的檢測手段 ，嚴格可靠的質(zhì)量體系。產(chǎn)品具有過濾精度高、起始壓差小、流通能力大、納污容量大以及使用壽命長的特點。主要性能指標(biāo)達到國際 水準(zhǔn)，可直接替代同類進口產(chǎn)品。

  凱洛特可生產(chǎn)替代Veeco以及AIXTRON公司MOCVD設(shè)備K-465，K465i，E-300 機型的濾芯。 可根據(jù)客戶要求設(shè)計，訂做。（調(diào)整：尺寸，使用材料，整體構(gòu)造等）為客戶產(chǎn)品打造合適的濾芯，確保各種過濾要求，達到 過濾效果。

Veeco  K465 K465i E300外延設(shè)備濾芯

產(chǎn)品說明：

該產(chǎn)品系我司針對Veeco K465i設(shè)備設(shè)計生產(chǎn)的濾芯，安裝于真空泵前，用于濾除混合氣體中的粉塵和顆粒；

2只/組（粗濾、細濾）

組成材料：

1、濾材： 耐高溫玻纖濾料

2、支撐材料：雙面304#不銹鋼金屬網(wǎng)

3、骨架：304#不銹鋼菱形網(wǎng)

4、密封墊圈：硅發(fā)泡橡膠墊片

5、密封膠：硅橡膠

規(guī)格：

1、端蓋：φ360、304#不銹鋼

2、耐高溫密封墊：φ340*φ265*T5

3、折數(shù)：一級（100μm）:118折, 折高65mm;二級（25μm）:88折，折高65mm

過濾效率：

1、粗濾：100μm=90%

2、細濾：25μm=99.95%

3、透氣量：1000L/Sec/㎡

產(chǎn)品特性：

1、采用兩級過濾工藝，分級過濾雜質(zhì)、有效去除不同大小的顆粒雜質(zhì)。

2、波紋工藝，有效過濾面積增加，容污能力強，使用周期長。

3、濾料采用玻纖濾料，具耐高溫、耐腐蝕，長期使用溫度可達250度以上。

4、專用的高精度過濾材料，空隙均勻，過濾精度高，有效保護設(shè)備。