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產(chǎn)品類別:LED外延設(shè)備濾芯
產(chǎn)品說明:K465i,E-300 機型濾芯MOCVD設(shè)備可以分為核心的腔體反應(yīng)室、加熱器、冷卻系統(tǒng)、氣體輸運系統(tǒng)以及整體控制系統(tǒng)。
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PRODUCT INTRODUCTION
K465i,E-300 機型濾芯
MOCVD設(shè)備可以分為核心的腔體反應(yīng)室、加熱器、冷卻系統(tǒng)、氣體輸運系統(tǒng)以
及整體控制系統(tǒng)。本文重點研究了氣體輸運系統(tǒng)的設(shè)計,包括結(jié)構(gòu)組成和部分控制難
點,并對該系統(tǒng)今后的發(fā)展陳述了自己的觀點。
氣體輸運系統(tǒng)的作用是把包括載氣和源氣在內(nèi)的所有氣體輸送至腔體參與反應(yīng),
并把反應(yīng)后的氣體輸送至排氣管路進行尾氣處理。氣體輸運包括源供給系統(tǒng),
反應(yīng)室內(nèi)多余的氣體帶入尾氣處理系統(tǒng)。由于腔體內(nèi)管路很復(fù)雜,而且避免MO源的壁面沉積
)對氣體流經(jīng)的關(guān)鍵管路持續(xù)吹掃?;?考慮,設(shè)備需
要定期進行泄漏檢查。

PRODUCT ADVANTAGES
專業(yè)的研發(fā)技術(shù)人員
研究產(chǎn)品種類多種多樣
產(chǎn)品可長時間抵抗壓力
擁有完善的售后服務(wù)體系
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