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MOCVD設(shè)備用過濾器濾芯

MOCVD設(shè)備用過濾器濾芯的規(guī)格尺寸因設(shè)備型號(hào)和廠商不同而有所差異。根據(jù)新公開資料，以下是幾種常見MOCVD設(shè)備濾芯的規(guī)格尺寸信息：

Veeco K465i / K475i 系列濾芯

?尺寸?：?248 mm × 900 mm?（直徑×長(zhǎng)度）?

?結(jié)構(gòu)?：通常為?2只/組?（粗濾+細(xì)濾）

?材質(zhì)?：

濾材：耐高溫玻纖濾料

支撐：雙面304#不銹鋼金屬網(wǎng)

骨架：304#不銹鋼菱形網(wǎng)

密封：硅發(fā)泡橡膠墊片 + 硅橡膠

AIXTRON G5 系列濾芯

?尺寸?：未明確給出具體數(shù)值，但標(biāo)注為“?規(guī)格齊全?”，支持定制?

?典型應(yīng)用?：用于愛思強(qiáng)MOCVD設(shè)備尾氣處理，過濾精度可達(dá)?1μm 或 25μm?（視型號(hào)而定）?

凱洛特濾芯（通用MOCVD濾芯）

?常見規(guī)格?：標(biāo)注“?規(guī)格齊全?”，支持按需定制?

?工作溫度?：耐高溫 ?280℃?

?過濾精度?：?1μm 至 25μm? 可選

?進(jìn)出口徑?：部分型號(hào)為 ?225 mm? ?

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